多维精密调整架坐标解耦合

装调光学元器件的调整,实际上就是对其六个自由度中的几个自由度进行调整。不同的光学调整架基本设计理念都是为了实现对一个或多个自由度进行调整并保证调整精度。实验中,常用的是对光学元器件五个自由度进行调整的五维调整架。对于五维光学调整架,由于受系统安装空间的限制、系统装调状态的要求、机械结构设计难度以及加工工艺的限制,调整架的三维平移调整自由度之间无法做到两两正交;二维旋转自由度的回转中心和光学元器件的光学中心无法做到重合;因此在进行五个自由度调整时,各维调整量之间存在坐标耦合,即调整其中的一维,会引起其它另一维甚至几维的变动。一般在光学系统装调实验中,由于无法对各位置调整量之间的坐标耦合关系进行量化和补偿校正,通常忽略坐标耦合情况。但是,忽略坐标耦合关系会造成实际机械调整量和光学调整量的期望值之间存在差异,因而,也影响光学系统装调过程的收敛速度。